化学腐蚀,取出不需要的铜层,最后制成掩膜版。
但这种技术,国内现在也没有。
一众专家教授和半导体研究所的研究员伱一言我一语,各自发表意见:
“相片制版技术在国外已经不是什么先进的技术,我看我们可以先从这里突破。”
“我觉得暂时没有必要,掩膜版只需要做出一个图形母版,就可以使用很长时间,当务之急还是早日实现芯片的工业化更重要。”
“m帝能行,我们也能行,中等规模集成电路都这么快搞出来了,我看掩膜版也行。”
……
李暮听着这些谈论,目光微微露出沉思之色。
其实在前面跟着黄新华做集成电路研究的时候,他就发现了。
在整个实验过程中,他们使用的还是手工制作的方式,用刀具手工剪裁和黏贴胶膜。
这种方式不仅失误率高,而且耗时极长。
但当时勉强能用,所以他并没有提出改进的意见。
就在众人僵持不下的时候,王绶觉忽然用不大不小,刚刚好能被所有人听到的声音道:
“李暮,你是不是有什么想法?”
话音刚落,所有人的目光顿时不由自主地望了过来。
李暮顿时压力山大。
但被点到名字,也不好什么都不说,他只好勉强挤出一丝笑容道:“王所长,我比较赞同继续使用手工制版的方法。”
听到李暮这么说,在场不少人顿时露出失望之色。
心想,还天才呢,就这点胆魄?连尝试都不敢尝试就放弃了?
只不过李暮接下来的话又让他们的眉头舒展:“但相片制版技术,也要同步研究。”
“就像刚刚有位教授说的,掩膜版在芯片工业化的过程中,并不是首当其冲要解决的问题。”
“手工制作虽然缺陷比较多,但做出的掩膜版并非不能用。”
“既然以实现芯片的工业化为目标,我认为我们应该先去攻克那些比较大的问题。”
“你觉得要什么问题比较大?”黄新华明知故问,引他继续往下说。
李暮沉声道:“光刻胶。”
“光刻胶的重要性众所周知,这里我不做赘述。”
“我要说的是它的作用,在芯片工业化生产的过程中,光刻胶既是一切的光刻工艺的前提,又是做出好的芯片的关键保证。”
“工业化生产不同于实验室研制,光刻胶不能人为地进行细微调控,最终的成品质量肯定达不到工业化的标准。”
“所以做出一款好的光刻
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