人继续。
然后才走过来,道:
“你怎么来了,不怕所里的人找你问来问去的了?”
随着他的话音落下。
实验室内的研究人员们,不约而同地竖起了耳朵。
对于李暮拒绝领取诺奖。
他们自然是知道,且十分好奇的。
“一件微不足道的小事而已,研究更重要。”李暮道。
他本来确实打算在国家公布消息的时候休息一两天避避风头。
发生了这种事情。
少不了有人要问原因。
可他又不可能将事情的始末一一解释清楚,所以干脆躲起来最方便。
不过后来他转念一想,压根没必要。
只要他不说,恐怕也没几个会主动问他的。
黄新华笑道:
“好,那我们来说研究的事情吧。”
“我们现在正在尝试改进原先的化学放大光刻胶。”
“我根据你的想法,目前在尝试开发具有更高玻璃化转变温度的树脂,以提高热稳定性……”
他简单地讲了讲正在进行的实验。
化学放大光刻胶,利用光酸生成剂在曝光或产生算,通过后烘过程催化光刻胶的化学反应实现化学放大效应。
在改进的方向上。
李暮提出了6个方向。
其中最简单的,就是树脂体系的优化。
开发具有更高玻璃化转变温度的树脂,只是第一步。
接下里还要通过精确控制树脂的分子量分布,减少显影过程中的不均匀性。
以及使用低分子量树脂提高分辨率。
“不过在使用低分子量树脂的时候,平衡机械强度和抗刻蚀性上,我们遇到了一点小麻烦。”黄新华最后道。
在优化的过程当中,他们发现。
低分子量树脂的分子链较短,会导致材料的机械程度下降,更容易断裂或变形。
还有树脂结构上。
因为致密度不够,抗刻蚀性也会下降。
李暮沉吟片刻,道:
“那就通过化学交联,在低分子量树脂中形成三维网格结构,增强材料的机械强度和抗刻蚀性。”
“也可以采用复合树脂体系,将低分子量树脂和高分子量树脂混合起来。”
“引入刚性分子结构,也是一个可行的方向,刚性基团,如芳香环、环状结构等,利用增强分子链的刚性去……”
他慢慢地阐述着研究思路。
这些都是早就准备好的内容。
不过并不是所有的,都能实现
本章未完,请点击下一页继续阅读! 第4页 / 共9页